正确答案是：C: Data element value, data instance or record and data set。

专业分析如下：

数据质量测量可以在不同的粒度水平上进行，具体可以分为以下三个层次：

1. **数据元素值（Data element value）**：这是最细粒度的水平，关注单个数据元素或字段的质量。例如，一个客户记录中的“姓名”字段或“电子邮件地址”字段的准确性、完整性和一致性。

2. **数据实例或记录（Data instance or record）**：这是中等粒度的水平，关注单个数据记录或实例的质量。例如，一个完整的客户记录，包括姓名、地址、电子邮件和电话号码等字段的整体质量。

3. **数据集（Data set）**：这是最粗粒度的水平，关注整个数据集的质量。例如，一个包含所有客户记录的数据库表的整体准确性、一致性和完整性。

通过这三个层次的分析，可以全面评估数据的质量，从最细微的元素到整体的数据集，确保数据在各个层面上都是可靠的和有用的。